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    扫描探针显微镜
    Scanning Probe Microscope
    设备简介(100~200字左右)
     
    SPM-9500J3扫描探针微镜是日本岛津公司(SHIMADZU)的可控气氛SPM产品, 可在大气中简单地进行高放大倍率的表面观察,并可直接观察非导电性样品,可精确测定样品表面的高程差。探针尖端可测定样品的物理性质。
    追加的可控气氛分析室可进行气氛控制下的SPM观察.可控制样品周围环境,通过大型观察孔和操作手套可自由地在分析室内部进行前处理.作为in-Situ SPM可通入不同的气体对样品进行吹扫,并调节腔体内的温度、湿度等来实现SPM的测试环境的可控操作,达到各种样品材料的表面形貌和性能的原位动态分析。
     
    主要设备参数(技术指标):
    1.        系统测量模式:接触模式, 动态模式(轻敲模式),3非接触式
    2.      扫描范围
    a)        XY: 广域扫描器:125µm
               标准扫描器:2.5µm
    b)        Z:   广域扫描器:8µm
               标准扫描器:0.3µm
    3.        分辨能力
       XY:≤0.2nm, Z:≤0.01nm
    4.        全自动驱近,最小步宽≤25nm
    5.      样品最大尺寸为:≥φ20mm×8mm
         移动量XY: ≥±5 mm  Z: ≥10mm
    6. 内部减震系统
    7. SPM 控制单元
    8. 扫描速度:0.1~100Hz


     

           

    场发射环境扫描电子显微镜
    Field emission scanning electron microscope

     

     

    设备简介 

    Quanta FEG系列场发射环境扫描电子显微镜是FEI公司的最新产品之一。是在FEI公司著名产品XL30 ESEM-FEG场发射环境扫描电子显微镜的基础上发展而来的。
                  Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势,可对各种各样的样品(包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等)进行高分辨的静态和动态观察和分析。
                  Quanta FEG具有优异的系统扩展性能,可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。
     
     

     

     

    设备性能指标

    .分辨率:
                    二次电子:
                     高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV
                     高真空减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可选项)
                     低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV
                     环境真空模式 1.4nm @ 30kV
                   背散射电子:高真空和低真空模式: 2.5nm @ 30kV
                  扫描透射STEM探测器:   0.8nm @ 30kV
                  加速电压 200V ~ 30kV, 连续可调
                  高稳定性Schottky场发射电子枪
                  最大束流 200nA
                  样品室压力最高达4000Pa
                  样品台移动范围 X=Y=100mm
                  稳定的大束流(最大200nA)确保高速、准确的能谱、波谱和EBSD分析
                  可安装冷台、加热台、拉伸台等进行样品原位、动态观察和分析